Pura高純氣在線(xiàn)露點(diǎn)傳感器、在線(xiàn)露點(diǎn)儀在很多超純氣應用,諸如半導體工業(yè)中,氣體中殘余的濕氣對于過(guò)程處理的正常運作至關(guān)重要。一直以來(lái),對濕氣的持續追蹤測量都是個(gè)難點(diǎn),需要用到復雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術(shù)。然而密析爾儀表目前則向市場(chǎng)推出了簡(jiǎn)單的、經(jīng)濟的、相當有效的方案,用來(lái)在線(xiàn)測量露點(diǎn)值,下限低至驚人的-120°C (相當于不到 1 ppbV)。 Pura 變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點(diǎn)傳感器生產(chǎn)和校驗的專(zhuān)業(yè)經(jīng)驗,結合標準工業(yè)化的材料和制造流程,打造出的*適用于半導體制造行業(yè)和超純氣體應用的低價(jià)位變送器。 亮點(diǎn)- 測量下限 -120°C 露點(diǎn) (1 ppbV)
- 測量穩定,重復性好
- 高度集成的采樣裝置
- 模擬和數字輸出
- 安裝簡(jiǎn)便
- VCR 過(guò)程接口
- 設計緊湊小巧
- 顯示/報警單元可選
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技術(shù)指標 |
傳感器 | 傳感器類(lèi)型 | 密析爾陶瓷濕度傳感器 | 量程 | -120 ~ -40°C 露點(diǎn) (校驗到 -100 ~ -40°C) | 精度 | ±1°C -40 ~ -60°C; ±2°C -61 ~ -100°C; ±4°C -101 ~ -120°C (估算值) | 分辨率 | 0.1°C -40 ~ -79.9°C; 1°C -80 ~ -100°C; 1 ~ 3°C -100 ~ -120°C | 壓力 | zui低 10-9 torr; zui大 24 MPa | 氣體流量 | 1 ~ 5 Nl/min | 電氣 |
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電源 | 通常 24 V DC, zui低10 V ~ zui高28 V , zui大電流 25 mA |
輸出 | 4-20 mA 輸出, 對應范圍可由軟件調整, 調整量程從 1 ~ 80°C (標配提供) zui大負載 = 100 Ω + 50 Ω x (V 電源 -8) |
輸出出錯狀態(tài) | 標準輸出出錯信息如下: 23 mA = 傳感器故障; 20 mA = 超上限; 4 mA = 超下限 |
機械性能 |
傳感器套筒 | 不銹鋼, 0.1-0.2 Ra µm 電鍍內拋光 |
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氣路連接端口 | Premium 或 OEM 型: ¼" m VCR 接口 Pura Sensor 型: ½" m VCR 接口 |
安裝配置 | Premium 或 OEM 型: 120.00mm 長(cháng), 氣路端口的端面密封. 無(wú)需預留管路空隙 底座上有 2 個(gè) M4 x 0.7, 7mm 深的安裝孔, 斜對面橫豎間距均為 20 x 20mm Pura Sensor 型: 適用于用戶(hù)提供的 ½" VCR 端口中 |
尺寸 | Premium 或 OEM 型: 120 x 35 x 150mm Pura Sensor 型: 132 x 35mm |
重量 | Premium 或 OEM 型: 450g Pura Sensor 型: 180g |
包裝 | Pura: 雙層包裝, 惰性氣體填充密封 Pura OEM 或 Pura Sensor 型: 單層包裝 所有選配件: 獨立包裝運輸 Sensor 型在傳感芯片端自帶保護套,用以運輸及操作 |